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帕爾貼Chiller

帕爾貼Chiller

適用范圍

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導體行業度身定制；

基于經過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，帕爾貼溫度控制系統能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制；

對于靜電卡盤(ESC)動態的溫度控制，使得其能夠應用于所有類型的刻蝕工藝；

快速和準確的溫度控制，能夠滿足任何嚴苛的工藝要求；

高效率、低能耗，節省空間，同時還能夠穩定的控制溫度。

產品參數

LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER有五款款型號可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和精確的溫度控制

重要功能和優勢
·高可靠性和低使用成本
·工業空間占用率小
·極低的導熱液填充量
·低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗
制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導熱液直接接觸
·動態控溫，精準控制過程溫度，快速溫度響應
·溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩定
·改善Wafer-Wafer的穩定性
·模塊化部件使得維修更加方便
·使用全氟液體

 

型號TEC-1200WTEC-2500WTEC-4500W
溫度范圍-20℃~90℃
控溫精度±0.1℃
制冷能力20℃1200W2450W4500W
10℃900W1925W3500W
0℃600W1400W2600W
?-10℃350W875W1600W
?-20℃80W350W700W
制熱能力＞3000W＞6000W＞12000W
泵類型直流磁力泵
壓力（bar）≤4
流量15L/min at 2bar
流體Galden HT135
冷卻水溫度DI＜20℃
冷卻水流量≥12L/min≥20L/min≥32L/min
CDA開啟溫度＜30℃
CDA壓力0.5-0.8bar
CDA流量2-3m3/h
CDA露點溫度≤30℃
電源電壓AC208V,三相電壓

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